極低温環境対応マイクロアクチュエータ駆動用圧電振動子の試作研究

• 研究課題/領域番号: 24K00791
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連; 小区分18030:設計工学関連; 合同審査対象区分:小区分18030:設計工学関連、小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
• 研究機関: 岡山大学
• 研究代表者: 神田 岳文 岡山大学, 環境生命自然科学学域, 教授 (30346449)
• 研究分担者: 山口 大介 岡山大学, 環境生命自然科学学域, 助教 (00735657)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円); 2027年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円); 2026年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2025年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2024年度: 7,410千円 (直接経費: 5,700千円、間接経費: 1,710千円)
• キーワード: マイクロアクチュエータ / 極低温環境 / 圧電振動子 / 圧電アクチュエータ

研究開始時の研究の概要

本研究では、極低温環境で使用可能なマイクロアクチュエータの実現を目標とし、このアクチュエータの駆動源となる極低温環境での共振駆動に適した小型化が容易な圧電振動子について検討を行う。予圧印加に関連する圧電材料の特性を明らかにするとともに、小型化に対応した構造を提案して振動子としての設計手法を確立し、試作した振動子を用いたアクチュエータの試作・低温環境での駆動により、アクチュエータ用振動子としての有効性を実証する。このために低温環境での圧力印加時の圧電体の評価、構造材料の温度依存性を利用した予圧印加構造を持つ小型化に適した振動子の構成、極低温環境用アクチュエータの試作評価について研究を行う。