微細軟磁性構造体を用いた高空間分解能でGHz帯動作する薄膜磁気センサの実現と応用

• 研究課題/領域番号: 24K00890
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21030:計測工学関連
• 研究機関: 岩手大学
• 研究代表者: 菊池 弘昭 岩手大学, 理工学部, 准教授 (30344617)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円); 2026年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円); 2025年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円); 2024年度: 8,320千円 (直接経費: 6,400千円、間接経費: 1,920千円)
• キーワード: 薄膜磁気センサ / 高空間分解能 / GHz帯 / 高感度

研究開始時の研究の概要

軟磁性構造体を微細加工技術により理想に近いワイヤ構造に微細加工し, 簡便なジュール加熱の手法を取り入れて微細構造体の磁気異方性制御を試み, 併せて強磁性共鳴周波数がGHzと高い材料を適用することにより, 素子長数10μmオーダーと小型で, かつ, GHz帯の高周波磁界検知可能な高感度の高機能磁気センサ実現を目指す研究である。将来的に, 電磁計測を基にした非破壊検査技術や高周波電流計測技術の高空間分解能化, 高周波化に寄与することを目的とする。