酸化膜の欠損を利用した完全無機の大気中の低温接合技術の開発

• 研究課題/領域番号: 24K01176
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分26030:複合材料および界面関連
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 島津 武仁 東北大学, 学際科学フロンティア研究所, 教授 (50206182)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 12,870千円 (直接経費: 9,900千円、間接経費: 2,970千円); 2026年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円); 2025年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円); 2024年度: 7,150千円 (直接経費: 5,500千円、間接経費: 1,650千円)
• キーワード: 低温接合技術 / 原子拡散接合法 / 酸化膜 / 大気中 / 光透過率

研究開始時の研究の概要

異種ウエハや，ウエハとポリマー等の低温接合技術は，新しい光学デバイス，電子デバイス等の形成に重要である．
本申請では，ナノメータの厚みの酸化膜を用いて，任意材質のウエハやポリマーを大気中で接合し，150℃以下の熱処理により強固な接合強度を得る完全無機の低温接合技術を開発する．酸化膜の欠損（空孔の移動）を利用してウエハ等を低温で接合する．
酸化膜の種類を選択することで，光透過率の高い接合界面や，電気的な絶縁性の高い接合界面を，大気中且つ150℃以下で形成する．