カーボンナノチューブ束の自己共振周波数測定及び高感度ガスセンサへの応用可能性検証

• 研究課題/領域番号: 24K01199
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分26040:構造材料および機能材料関連
• 研究機関: 鳥取大学
• 研究代表者: 李 相錫 鳥取大学, 工学研究科, 教授 (50625233)
• 研究分担者: 久米村 百子 九州工業大学, 大学院生命体工学研究科, 准教授 (50533642) ; 古田 寛 高知工科大学, システム工学群, 教授 (10389207) ; 中嶋 誠 大阪大学, レーザー科学研究所, 准教授 (40361662) ; 魯 健 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (50547479) ; 松永 忠雄 鳥取大学, 工学研究科, 准教授 (00396540)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円); 2026年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円); 2025年度: 6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円); 2024年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
• キーワード: カーボンナノチューブ / 共振周波数 / ガスセンシング

研究開始時の研究の概要

本研究目的達成のため、MEMSマイクログリッパーのプローブ先端にCNT束を成長する必要がある。そのためCNT束成長に必要な触媒層をMEMSマイクログリッパーのプローブ先端に成膜できる作製プロセスを確立する。次に、MEMSマイクログリッパーのプローブ先端で成長されたCNT束の自己共振周波数の測定し、ガス分子を吸着させ、自己共振周波数の変化を調査し、ppbオーダー以下の極低濃度ガスセンサとしての応用可能性を明らかにする。