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回路レス温度補正が可能な実装基板一体型水晶振動子によるオンサイト計測の革新

研究課題

研究課題/領域番号 24K01317
研究種目

基盤研究(B)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分28050:ナノマイクロシステム関連
研究機関新潟大学

研究代表者

安部 隆  新潟大学, 自然科学系, 教授 (00333857)

研究期間 (年度) 2024-04-01 – 2028-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
17,680千円 (直接経費: 13,600千円、間接経費: 4,080千円)
2027年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2026年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2025年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2024年度: 7,150千円 (直接経費: 5,500千円、間接経費: 1,650千円)
キーワード水晶振動子 / オンサイト計測 / 温度補正 / 微細加工 / プロセスモニタリング
研究開始時の研究の概要

本研究では、申請者が考案した、回路なしで自然に温度補正可能な実装基板一体型ATカット水晶振動子の駆動原理を解明することで、広い周波数で利用可能とし、さらにその強みを活かしたセンシングへの応用を探索する。ATカット水晶振動子は、常温付近の温度特性が優れているが、振動子が外部環境に曝露されるオンサイト計測やダイナミックな温度変動を伴う反応プロセス計測の場合は、温度特性が無視できず、その感度を活かせない状況である。本研究では、本振動子を信号変換素子や信号源として利用したセンサのプロセスモニタリングなどの応用開拓も実施する予定である。

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公開日: 2024-04-11   更新日: 2024-06-24  

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