イオン照射表面における原子状ラジカル反応機構の定量解析と学理構築

• 研究課題/領域番号: 24K07007
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分14030:プラズマ応用科学関連
• 研究機関: 名城大学
• 研究代表者: 竹田 圭吾 名城大学, 理工学部, 教授 (00377863)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2026年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2025年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2024年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
• キーワード: ラジカル / 真空紫外吸収分光法 / 表面反応 / プラズマ

研究開始時の研究の概要

本研究では、中性活性種や荷電粒子またはそれらの相乗作用による表面反応により進行する反応性プラズマプロセスにおいて、原子状ラジカルの表面反応に着目し、イオンなどの荷電粒子がその反応に与える影響を、真空紫外吸収分光法により表面損失確率として定量的に計測する。そして、イオンなど荷電粒子が常に降り注ぐ実プロセス表面での原子状ラジカルの反応性を、荷電粒子種による影響の違いや、フラックス・エネルギーを基軸として分析し、さらに比処理基材の種類（構成する元素、組成）や表面状態（構造、温度、分子吸着状態など）による影響など、反応性プラズマ表面反応場に関する知見収集に努め、当該分野の学術的基盤の構築に貢献する。