| 研究課題/領域番号 |
24K07255
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 九州工業大学 |
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研究代表者 |
清水 浩貴 九州工業大学, 大学院工学研究院, 准教授 (50323043)
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| 研究分担者 |
田丸 雄摩 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教 (30284590)
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| 研究期間 (年度) |
2024-04-01 – 2027-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2026年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2025年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2024年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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| キーワード | 精密位置決め / 直動ステージ / スクイーズ効果 / 単結晶シリコン / 結晶異方性エッチング |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究は，シリコンウエハの結晶異方性エッチングにより形成される250μmピッチのV溝が100列前後並んだ多条V溝構造を互いにかみ合わせ，接触型，あるいは非接触型（スクイーズ膜支持，空気静圧支持）の小型1軸直動ステージのガイドとする機構の可能性，有用性を検証するものである．これを実現するため，1軸方向に運動を拘束する構造を精度よく製作する方法の確立，非接触，またはそれに準ずる状態での低摩擦ガイドを実現するための機構を開発する．
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