微細形状測定用ファブリ・ペロー方式光ファイバプローブの小径化および高分解能化

• 研究課題/領域番号: 24K07272
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分18020:加工学および生産工学関連
• 研究機関: 北九州市立大学
• 研究代表者: 村上 洋 北九州市立大学, 国際環境工学部, 教授 (00416512)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2026年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2025年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2024年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
• キーワード: 微細形状測定 / 光ファイバ / プローブ / ファブリ・ペロー干渉 / バーニア効果

研究開始時の研究の概要

近年、微細金型、各種ノズル穴、半導体等の分野において、直径10 μm以下の穴や溝などを有する立体的で微細な三次元形状部品が増加しており、これらを精密に測定するニーズが増加している。そこで、本研究ではファブリ・ペロー干渉計を光ファイバ先端部に組み込んだ小径接触式プローブの小径化と高分解能化を目的に開発を行う。