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超音波スクイーズ効果を利用した300mmウェハ用非接触把持・回転装置に関する研究
研究課題
サマリー
2024年度
基礎情報
研究課題/領域番号
24K07293
研究種目
基盤研究(C)
配分区分
基金
応募区分
一般
審査区分
小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
研究機関
東京理科大学
研究代表者
宮武 正明
東京理科大学, 工学部機械工学科, 准教授 (70434032)
研究期間 (年度)
2024-04-01 – 2028-03-31
研究課題ステータス
採択 (2024年度)
配分額
*注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2027年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2026年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2025年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2024年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)