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超高精度・高速応答をともなったフィードバック制御式共振型マイクロ加速度センサ

研究課題

研究課題/領域番号 24K07381
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
研究機関名城大学

研究代表者

畑 良幸  名城大学, 理工学部, 准教授 (60524650)

研究期間 (年度) 2024-04-01 – 2027-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2026年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2025年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2024年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワードMEMS / 加速度センサ / 共振周波数 / Force Rebalance / 力フィードバック制御
研究開始時の研究の概要

自動運転車の移動量・姿勢推定、ロボットの姿勢制御、人の動作・行動推定を高度かつ安価に行なうためにはMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)加速度センサの超高精度・高速応答化が重要となる。本研究では、加速度印加時の共振周波数の変化から加速度を算出する従来の共振型加速度センサとは異なり、力フィードバック制御(Force Rebalance制御)によって共振周波数を一定に保つ制御量から加速度を算出する、共振型加速度センサとAM(Amplitude Modulation)加速度センサを融合した新規加速度センサを動作実証する。また、高精度化と高速応答化を検証する。

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公開日: 2024-04-05   更新日: 2024-06-24  

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