超高速と高精度を両立する粗微動サーボ弁による非接触駆動エアステージの駆動制御法

• 研究課題/領域番号: 24K07391
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
• 研究機関: 東京電機大学
• 研究代表者: 藤田 壽憲 東京電機大学, 工学部, 教授 (70242279)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2026年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2025年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円); 2024年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
• キーワード: 空気圧 / エアステージ / 超精密位置決め / サーボ弁 / 粗微動制御

研究開始時の研究の概要

申請者はピストンを静圧軸受により浮上させることにより、発熱や摩擦のない非接触駆動を可能とするエアステージを実現した。このステージは１台のサーボ弁により駆動されてきた。本研究では、これを高速に駆動する粗動サーボ弁と精密な位置決めをする微動サーボ弁で駆動することを提案する。二つのサーボ弁を制御する方法を検討し、実際に超高速と高精度を同時に両立できるエアステージを実現することを目指す。