低ノイズ超高速レーザ干渉計による超広帯域センサの評価技術の開発

• 研究課題/領域番号: 24K07517
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21030:計測工学関連
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 野里 英明 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ長 (60415726)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2026年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円); 2025年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2024年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
• キーワード: AEセンサ / 高周波数応答 / ヘテロダイン式レーザ干渉計 / 弾性波 / 接触剛性

研究開始時の研究の概要

AEセンサでは複数個所における測定により、インフラ劣化箇所の特定やマルチマテリアル・薄膜などの機械的特性評価が行われており、時系列波形におけるピーク値から弾性波の速度を求めた位置の同定や物性値が求められている。100 MHzの帯域まで感度だけでなく位相遅れも含めた微小変位計測を伴うAEセンサの評価技術は高いニーズをもっており、産業界からは計測信頼性の確保されたAEセンサの周波数応答が求められている。そのため、本研究では、超広帯域センサの周波数応答の評価システムの構築を行い、AEセンサを主な評価対象とした計測信頼性評価技術を開発する。