気泡の発生音による気泡の膨張収縮の運動状態の定量計測技術

• 研究課題/領域番号: 24K07530
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21030:計測工学関連
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 内田 武吉 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 (70455434)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2026年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円); 2025年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円); 2024年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
• キーワード: 音響キャビテーション / 気泡 / 超音波計測 / 超音波洗浄 / 半導体

研究開始時の研究の概要

超音波により生じる気泡は半導体基板や医療器具等の最終洗浄に利用されているが、気泡の膨張収縮時に生じる衝撃波によるエロージョンが課題である。そこで、本研究では気泡の膨張収縮時に発生する音響信号を気泡の運動状態の評価に応用することを目指している。気泡の音響信号である分調波と超高調波に注目し、両者が気泡のどの運動状態を反映した量であるかを明らかにすることにより、気泡の運動状態を簡易且つ定量的に計測する新しい技術を確立する。