研究課題
基盤研究(C)
本研究の目的は、酸化タンタルを用いた抵抗変化素子で見られるディジタルおよびアナログ抵抗変化の種別の起源や、この種別を決定している主要因を特定することである。抵抗変化材料の酸素組成や結晶構造、下部電極材料や組成に起因する内蔵酸素量が、ディジタル・アナログ抵抗変化の発現に与える影響を調べ、これらの間を自由に選択的に遷移するための条件を見出しその制御法を提案することを目指す。