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強誘電体薄膜上でのチエノチオフェン系薄膜の成長制御とメモリデバイス応用

研究課題

研究課題/領域番号 24K07582
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関大阪工業大学

研究代表者

廣芝 伸哉  大阪工業大学, 工学部, 准教授 (40635190)

研究分担者 小池 一歩  大阪工業大学, 工学部, 教授 (40351457)
小島 広孝  舞鶴工業高等専門学校, その他部局等, 准教授 (70713634)
研究期間 (年度) 2024-04-01 – 2027-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2026年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2025年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2024年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワード強誘電薄膜 / 有機デバイス / FET
研究開始時の研究の概要

本研究では、チエノチオフェン系有機半導体としてDNTT,C8-BTBT,C10-DNTTの3種類について作製条件の探索、最適化を行う。Hf0.5Zr0.5O2上および比較としてSiO2上での薄膜形成過程を明らかにする。また、絶縁上での薄膜形成プロセスにMDシミュレーションを適応し、実験結果の比較により物理パラメータを決定する。
これらの知見を適応し再現性良くFeFETデバイス作製し、分子配向・結晶性と移動度、On-Off比などのデバイス特性、強誘電性とメモリ特性を比較する。このように系統的なデバイス評価を行い、今後のメモリデバイスとしての応用可能性を探る

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公開日: 2024-04-05   更新日: 2024-06-24  

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