研究課題
基盤研究(C)
本研究では，導電性のナノ結晶と絶縁性の薄膜とを複合した構造において，ナノ構造をキャリア輸送経路として利用する導電性保護膜の創製を目指す。応募者は，キャリア輸送が可能な保護膜の開発を志向し，ナノ結晶シリコンをシリコン酸化膜に複合した構造を提案してきた。この複合膜において，半導体表面は絶縁性のシリコン酸化膜が担い，導電性のナノ結晶シリコンがキャリア輸送を担う。しかし，ナノ結晶シリコンがキャリア輸送経路として機能しているかについては明らかになっていない。本研究では，電流-電圧特性の温度依存性を調査することでそのキャリア輸送機構を調査し，ナノ構造がキャリア輸送経路としての機能しているかを検証する。
