メンブレン型a-CaO犠牲層による酸化物３次元微細加工プロセスの開拓

• 研究課題/領域番号: 24K08245
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
• 研究機関: 金沢大学
• 研究代表者: 川江 健 金沢大学, 電子情報通信学系, 准教授 (30401897)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2026年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2025年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2024年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
• キーワード: 酸化物薄膜 / 選択成長 / 潮解性酸化物 / 微細加工

研究開始時の研究の概要

本研究は、多様な酸化物に対応可能な3次元微細加工プロセスの確立を目的とする。目的達成に向け、高温耐性と潮解性をもつアモルファス酸化カルシウム(a-CaO)をメンブレン型犠牲層としたヘテロエピ選択成長・水リフトオフを提案する。
具体的な取り組みとして、①精緻なメンブレン型a-CaO犠牲層の形成技術を確立し、②高アスペクト・極微サイズの酸化物膜のヘテロエピ選択成長を実証する。さらに、③提案技術に対する構造制御・微細化を制限する要素の有無と解決策について、プロセス工学・材料科学・デバイス工学を網羅した多角的な観点から明確な解を導く。