α型酸化ガリウムの特異な緩和機構と光導電特性の研究

• 研究課題/領域番号: 24K08269
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分30010:結晶工学関連
• 研究機関: 和歌山大学
• 研究代表者: 宇野 和行 和歌山大学, システム工学部, 准教授 (90294305)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2026年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2025年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2024年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
• キーワード: 酸化ガリウム / 結晶成長 / ミストCVD法 / 深紫外検出器

研究開始時の研究の概要

ソーラーブラインド(SB)光と呼ばれる、地上での太陽光に含まれていない紫外光に選択的感度を有する高感度検出器の実現を目指す研究を行う。SB光の高感度検出は、高温物体検出、ウィルス検出、気象予測など、光検出技術の新たなる広がりをもたらす有用な技術である。
この研究では、SB光に選択的感度をもつウルトラワイドギャップ半導体であるα型酸化ガリウムをミストCVD法を用いて高品質に薄膜結晶成長し、デバイスを試作して光物性評価を行う。結晶成長メカニズムに基づいた高品質化と詳細な結晶構造評価、受光デバイス作製を通じた光物性を解明する研究を複合させ、結晶成長と光物性についての学理の追求を行う。