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インプロセス観察によるレーザ誘起ナノ構造の創成現象の解明と構造制御

研究課題

研究課題/領域番号 24K17187
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関東京都市大学

研究代表者

小玉 脩平  東京都市大学, 理工学部, 准教授 (10867237)

研究期間 (年度) 2024-04-01 – 2026-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2025年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2024年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
キーワードレーザ誘起ナノ構造 / インプロセス観察 / フェムト秒レーザ
研究開始時の研究の概要

超短パルスレーザは高能率でナノ構造を創成できるが,高速で変化するアブレーションのダイナミクスを直接観察することは困難であり,加工後の形状や解析等の結果から間接的にメカニズムを検討することが主である.そこで,フェムト秒の時間分解能で直接加工現象を観測できる装置を構築し,インプロセスで形状とプラズマの変化を観測する.得られた実験・解析データを基に,レーザ誘起ナノ構造の創成・制御ダイナミクスを解明し,表面プラズモンの励起からアブレーションに至るまでの統一した物理モデルを構築し,レーザ照射条件を制御して種々の固体表面・曲面に対して任意の微細形状を創成する革新的加工技術を確立する.

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公開日: 2024-04-05   更新日: 2024-06-24  

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