研究課題
若手研究
半導体微細加工技術の進展により、可視光帯で動作する窒化シリコン光回路が、小型光システムを実現する新たな基盤技術として注目されている。近年、その要素技術の開発が進められているが、光回路の光源開発は重要な課題の一つである。これまでマイクロメートルスケールの微細なレーザ光源は、主にIII族窒化物半導体を材料として実現されている。しかしながら、異種材料である光回路への集積化は同半導体の加工技術における課題により、その実現には至っていない。本研究では、光照射下で生じる化学エッチングプロセスを基盤とする加工技術の開発により、微細な可視レーザ光源を窒化シリコン光回路に集積することを目指す。
