中赤外分光イメージングのためのMEMS可動フィルタアレイを用いた熱型受光デバイス

• 研究課題/領域番号: 24K17595
• 研究種目: 若手研究
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 小区分28050:ナノマイクロシステム関連
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 安永 竣 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (80963628)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2026-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2025年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2024年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
• キーワード: 中赤外線 / 分光 / プラズモニクス / 再構成分光法

研究開始時の研究の概要

波長2.5マイクロメートル以上の中赤外光の吸収特性から，対象物の化学組成を計測する分光技術を，撮像素子の各画素において行うことで，空間を構成する物体を化学的組成によって可視化することが可能であるが，一般に普及するには，分光素子の小型化，集積化に課題がある．赤外線を熱に変換して光強度を計測する熱型中赤外受光器に波長による感度変化をもたせ，これを複数用いることで分光する技術があるが，本研究では，さらにこれに波長選択性をもつフィルタを組み合わせることで集積度の飛躍を目指す．