クラウン・エッジ電極を用いた両極性カーボンナノチューブFETセンサの創製

• 研究課題/領域番号: 24K21621
• 研究種目: 挑戦的研究(萌芽)
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
• 研究機関: 九州大学
• 研究代表者: 末廣 純也 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (70206382)
• 研究期間 (年度): 2024-06-28 – 2026-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円); 2025年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円); 2024年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
• キーワード: カーボンナノチューブ / 電界効果型トランジスタ / 誘電泳動 / リソグラフィ

研究開始時の研究の概要

研究代表者は、クラウン・エッジ電極を用いた誘電泳動集積法で製作したカーボンナノチューブ（CNT ）FETガスセンサは、従来の動作原理からは説明のできない興味深い応答特性を示すことを新たに見出した。本研究では、クラウン・エッジ電極を用いた誘電泳動集積の結果形成される電極端部とCNT端部の接触形態を原子間力顕微鏡を用いて詳細に調査すると同時に、これがCNT-FETの両極性伝導特性に及ぼす影響を詳細に調べ、電極界面構造を制御した両極性CNT-FETの新規な伝達機構解明と応用展開に挑む。