自己組織化膜の歩留まり科学に向けた計測体系構築：反射電子線小角散乱

• 研究課題/領域番号: 24K21687
• 研究種目: 挑戦的研究(萌芽)
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 中区分26:材料工学およびその関連分野
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 堀出 朋哉 名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (70638858)
• 研究分担者: 堀部 陽一 九州工業大学, 大学院工学研究院, 教授 (80360048)
• 研究期間 (年度): 2024-06-28 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円); 2026年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2025年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2024年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
• キーワード: 小角散乱 / 薄膜材料 / パルスレーザー蒸着

研究開始時の研究の概要

工業材料は大量生産され、歩留まりを考慮して製品管理や設計を行う必要がある。歩留まりの科学化により、より効率的な大量生産、工業製品使用が可能になる。歩留まり科学では個々のデータの分解能よりもビッグデータ性が重要である。限定詳細評価から高速全箇所評価にかじを切ることが、歩留まり科学への計測思想の転換である。今回は自己組織化薄膜材料をターゲットとする。小角散乱に着目し、In-situで自己組織化構造をデータ化することを可能にする計測体系の構築を目指す。