酸性アモノサーマル法によるAlNバルク結晶作製技術の開発

• 研究課題/領域番号: 24K21739
• 研究種目: 挑戦的研究(萌芽)
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 中区分30:応用物理工学およびその関連分野
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 冨田 大輔 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 特任准教授 (30431472)
• 研究期間 (年度): 2024-06-28 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円); 2026年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円); 2025年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円); 2024年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
• キーワード: 酸性アモノサーマル法 / 窒化アルミニウム / 溶解度 / 結晶成長 / 超臨界アンモニア

研究開始時の研究の概要

本研究では、超臨界アンモニアへのAlN溶解度曲線を各酸性鉱化剤について作成し、溶解度データに基づいてAlN結晶育成条件に最適な鉱化剤、温度、圧力条件を見出す。また、溶解度測定の際に析出物を回収して粉末X線回折による定性分析を行い、中間体であるAl錯体を同定することで溶解・析出過程を解析する。超臨界アンモニアに溶解しているAl錯体からAlNが析出する過程を明らかにすることで、これまでにアモノサーマル法でバルクのAlN結晶が作製できていない原因を解明する。