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低電流密度・高輝度赤色マイクロLED加工のためのAlGaInP加工特性に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 24K22948
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分基金
審査区分 0302:電気電子工学およびその関連分野
研究機関東北大学

研究代表者

大堀 大介  東北大学, 流体科学研究所, 助教 (00839293)

研究期間 (年度) 2024-07-31 – 2026-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2025年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2024年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワード赤色マイクロLED / トップダウン加工
研究開始時の研究の概要

数マイクロm程度に加工されたマイクロLEDデバイスは、VR/ARディスプレイ向けの次世代ディスプレイ素子として注目されている。このマイクロLED素子は、低電流密度動作・高精細・高輝度な赤青緑の光の三原色が要求されている。とりわけ、赤色マイクロLEDの発光強度の向上が必要とされており、マイクロLEDへの加工過程で生じる加工界面欠陥によって内部量子効率の低下が生じるため、低電流密度における発光効率が著しく低下する問題がある。そこで本研究では、赤色LEDで用いるAlGaInPのトップダウン加工時に生ずる加工界面欠陥に着目し、欠陥生成抑制による赤色マイクロLEDの低電流密度の高輝度化を試みる。

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公開日: 2024-08-01   更新日: 2024-09-13  

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