研究課題/領域番号 |
24KF0085
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研究種目 |
特別研究員奨励費
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 外国 |
審査区分 |
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
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研究機関 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
研究代表者 |
廖 梅勇 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 主席研究員 (70528950)
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研究分担者 |
ZHAO WEN 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 外国人特別研究員
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研究期間 (年度) |
2024-04-23 – 2026-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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配分額 *注記 |
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
2025年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2024年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
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研究開始時の研究の概要 |
このプロジェクトの目的は、高感度かつ高速で腐食性ガスを検知するための、ハイモード振動を用いて、 高周波と品質係数の両方を満たすダイヤモンド MEMS 共振器を開発することです。
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