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高感度・高信頼性ダイヤモンドMEMS腐食性ガスセンサ

研究課題

研究課題/領域番号 24KF0085
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分基金
応募区分外国
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

廖 梅勇  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 主席研究員 (70528950)

研究分担者 ZHAO WEN  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 外国人特別研究員
研究期間 (年度) 2024-04-23 – 2026-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
2025年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2024年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
研究開始時の研究の概要

このプロジェクトの目的は、高感度かつ高速で腐食性ガスを検知するための、ハイモード振動を用いて、 高周波と品質係数の両方を満たすダイヤモンド MEMS 共振器を開発することです。

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公開日: 2024-04-24   更新日: 2024-07-03  

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