半導体プロセス応用を対象としたデータ駆動プラズマ診断手法の開発

• 研究課題/領域番号: 24KF0240
• 研究種目: 特別研究員奨励費
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 外国
• 審査区分: 小区分14030:プラズマ応用科学関連
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 吉村 智 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40294029)
• 研究分担者: CHOUTEAU SIMON
• 研究期間 (年度): 2024-11-15 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 採択 (2024年度)
• 配分額: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円); 2026年度: 500千円 (直接経費: 500千円); 2025年度: 600千円 (直接経費: 600千円); 2024年度: 900千円 (直接経費: 900千円)