研究課題
特別研究員奨励費
本研究は、音波が薄層を通過する際に生じる音響共鳴現象を利用した新しい超音波映像法を創出し、これにより次世代材料システムの性能を左右する各種薄膜の品質を非破壊的かつ高精度に可視化することに挑戦するものである。これまで音響共鳴現象を利用して各種薄膜の音響物性値や厚さが計測されてきたが、いずれも点計測であった。本研究では音響共鳴映像システムを新たに開発してこれを面計測へと拡張し、次世代薄膜の品質評価に不可欠な薄膜の音響物性値や厚さの2次元情報を取得する。