宇宙電気推進や半導体デバイス製造プロセスといったプラズマの工学応用ではプラズマと固体との間に生じる物理的・化学的相互作用を理解することが重要である.本研究ではプラズマと固体材料を一括して捉える電気的インピーダンス分光(in-situ IS)法を基盤技術として確立し,プラズマ・固体材料の同時計測を通じて未だ明らかにされていないプラズマ・固体相互作用機構の解明に取り組む.回路モデルを用いてプラズマ・固体界面の電気伝導機構を表現し,回路モデル上のパラメータをIn-situ IS法により計測することで相互作用によるプラズマ特性・材料特性の変化を捉え,相互作用機構の物理モデルの構築に取り組む.
|