切り紙・折り紙構造とMEMS技術を用いたLIG六軸触覚センサの創成

• 研究課題/領域番号: 24KJ1949
• 研究種目: 特別研究員奨励費
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 国内
• 審査区分: 小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
• 研究機関: 慶應義塾大学
• 研究代表者: 中島 利八郎 慶應義塾大学, 理工学研究科(矢上), 特別研究員(DC2)
• 研究期間 (年度): 2024-04-23 – 2026-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円); 2025年度: 800千円 (直接経費: 800千円); 2024年度: 800千円 (直接経費: 800千円)

研究開始時の研究の概要

本研究では、レーザ加工技術を利用して形成した三次元微細構造を有するMEMS多軸力センサを提案する。提案するセンサは高出力レーザ照射による精密で微細なセンサ構造の加工と、低出力レーザ照射によるひずみを検知するセンサ素子形成によって一括で製作される。本研究においては、微細・精密なセンサ構造と高感度なセンサ素子を形成するためのレーザパラメータ及びレーザ加工プロセスを構築し、多軸方向の力を独立性良く計測できる、微細なセンサデバイス実現を目指す。