| 研究課題/領域番号 |
25242048
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
医用システム
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| 研究機関 | 名古屋工業大学 |
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研究代表者 |
安田 和人 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60182333)
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| 研究分担者 |
ニラウラ マダン (NIRAULA Madan / Niraula Madan) 名古屋工業大学, 大学院工学研究科, 准教授 (20345945)
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| 連携研究者 |
鈴木 和彦 北海道科学大学, 工学部, 教授 (30226500)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
29,770千円 (直接経費: 22,900千円、間接経費: 6,870千円)
2015年度: 5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2014年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
2013年度: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円)
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| キーワード | 放射線検出器 / CdTe / エピタキシャル成長 / 電子デバイス |
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| 研究成果の概要 |
ｘ線動画観察可能な超高感度大面積のビデオカメラの実現を目的として、アバランシフォトダイオード(APD)を2次元に配列した大面積のアレイ型放射線画像検出器の製作について検討した。APDはp+-CdTe/p-CdTe/n-CdTe/n+-Si構造であり、有機金属気相成長法によるSi基板上の単結晶厚膜CdTe成長層を用いて製作する。暗電流が少なく、アレイ面内で均一な増倍率分布をもつ高性能APDアレイの実現に不可欠な高品質大面積のCdTe層を成長するため、Si基板の成長前処理とCdTe層成長条件を最適化した。さらにAPDの 製作方法についても改善を行った。
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