| 研究課題/領域番号 |
25286024
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
ナノ材料工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
齋藤 弥八 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90144203)
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| 研究分担者 |
安坂 幸師 名古屋大学, 大学院工学研究科, 講師 (50361316)
中原 仁 名古屋大学, 大学院工学研究科, 助教 (20293649)
村田 英一 名城大学, 理工学部, 准教授 (40387759)
永井 滋一 三重大学, 大学院工学研究科, 助教 (40577970)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
19,370千円 (直接経費: 14,900千円、間接経費: 4,470千円)
2015年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2014年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2013年度: 13,520千円 (直接経費: 10,400千円、間接経費: 3,120千円)
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| キーワード | カーボンナノチューブ / 電子源 / 電界放出 / 走査電子顕微鏡 / 電子線 / 電子レンズ / X線像 / X線源 / 分解能 / 近軸軌道計算 / レンズ系 / 収差係数 |
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| 研究成果の概要 |
独自に設計作製した電子源室および集束系を既製の卓上SEMの鏡筒に組込み，単一のカーボンナノチューブ（CNT）を電界放出エミッタとする小型SEMシステムを構築した。引出電極とButlerレンズは，近軸軌道計算および実軌道計算に基づいて設計した。電子源室を10-7 Paオーダーの真空まで排気することにより安定した電子ビームが得られ，分解能30 nmのSEM像の観察に成功した。さらに，小型SEMの試料室に金属ターゲット，Be窓を取り付けることにより，X線顕微鏡として用いることにより，電子の加速電圧17kV，ビーム電流8.5nAにおいて，140μm幅のSDメモリの配線の撮影に成功した。
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