| 研究課題/領域番号 |
25286080
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマエレクトロニクス
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
関根 誠 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80437087)
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| 連携研究者 |
竹田 圭吾 名古屋大学, 大学院工学研究科, 助教 (00377863)
近藤 博基 名古屋大学, 大学院工学研究科, 准教授 (50345930)
林 俊雄 名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授 (30519591)
石川 健治 名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授 (60417384)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
19,110千円 (直接経費: 14,700千円、間接経費: 4,410千円)
2015年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
2014年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2013年度: 12,870千円 (直接経費: 9,900千円、間接経費: 2,970千円)
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| キーワード | プラズマ化学 / プラズマエッチング / プラズマ加工 / 凹凸 / レジスト / プラズマビーム |
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| 研究成果の概要 |
人類の持続性繁栄・社会の利便性向上に欠かせない集積回路・センサ・アクチュエータをはじめ，数々の電子情報ナノシステムの構築には微細加工・プラズマエッチングをインテグレーションする方法論の確立が要求されていた．課題は，プラズマ加工における反応プロセス「揺らぎ」が微細加工限界を決定づける寸法レベル，サブナノに達している点であった．すなわち，サブナノ微細加工技術での（１）材料高選択性，（２）平滑化，（３）無損傷化実現するエンジニアリングを達成した．プラズマからのイオン・ラジカル・光を独立に制御して試料に照射して，表面プローブ顕微鏡によってポリマー表面の凹凸形状に与える影響を体系化することができた．
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