コヒーレント軟X線を用いた高空間・高時間分解顕微干渉イメージングシステムの開発

• 研究課題/領域番号: 25286086
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 一部基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 量子ビーム科学
• 研究機関: 徳島大学
• 研究代表者: 富田 卓朗 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 (90359547)
• 研究分担者: 長谷川 登 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究職 (50360409) ; 錦野 将元 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (70370450) ; 河内 哲哉 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究主幹 (40343941) ; 末元 徹 東京大学, 物性研究所, 教授 (50134052) ; 大西 直文 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (20333859)
• 研究協力者: 江山 剛史 ; 柿本 直也 ; 井筒 類
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2016-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2015年度)
• 配分額: 17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円); 2015年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円); 2014年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円); 2013年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
• キーワード: 軟X線レーザー / 顕微計測 / 時間分解測定 / フェムト秒レーザーアブレーション / シングルショット計測 / 分子動力学解析

研究成果の概要

フェムト秒レーザー照射によって起こるナノメートルレベルでの微細な加工現象を明らかにするため、フェムト秒レーザーポンプ・軟X線プローブの時間分解イメージングシステムの構築を行った。反射率イメージングからはレーザー加工によって生じる剥離薄膜の膨張過程を明らかにすることができ、膨張途中の剥離薄膜の形状が入射レーザー光の強度プロファイルに一致することを明らかにした。
さらに、軟X線の干渉計測も行うことで、レーザー照射直後の1ナノ秒以下で生じる剥離薄膜の形成とアブレーション痕の形成過程も明らかにすることが出来た。

研究成果

• [雑誌論文] The Shape of The Exfoliated Surface during Femtosecond Laser Ablation (2016)
  • 著者名/発表者名: N. Kakimoto, T. Eyama, R. Izutsu and T. Tomita
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 巻: 11 号: 1 ページ: 91-94
  • DOI: 10.2961/jlmn.2016.01.0017
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Hydrodynamics driven by ultrashort laser pulse: simulations and the optical pump, x-ray probe experiment (2015)
  • 著者名/発表者名: N.A. Inogamov, V. Zhakhovsky, N. Hasegawa, M. Nishikino, M. Yamagiwa, M. Ishino, M. Agranat, S. Ashitokov, A. Faenov, V. Khokolov, D. Ilnitski, Yu Petrov, K. Migdal, T. Pikuz, S. Takayoshi, T. Eyama, N. Kakimoto, T. Tomita, M. Baba, Y. Minami, T. Suemoto, and T. Kawachi
  • 雑誌名: Applied Physics B 巻: online 号: 3 ページ: 1-7
  • DOI: 10.1007/s00340-015-6039-7
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Submicron scale image observation with a grazing incidence reflection-type single-shot soft X-ray microscope (2014)
  • 著者名/発表者名: Motoyoshi Baba, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Mitsuru Yamagiwa, Tetsuya Kawachi and Tohru Suemoto
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 53 号: 8 ページ: 80302-80302
  • DOI: 10.7567/jjap.53.080302
  • NAID: 210000144288
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Time-resolved soft x-ray imaging of femtosecond laser ablation processes on metals (2014)
  • 著者名/発表者名: Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 巻: 778-780 号: 2 ページ: 440-443
  • DOI: 10.2961/jlmn.2014.02.0011
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Time-resolved soft x-ray imaging of femtosecond laser ablation process in metals (2014)
  • 著者名/発表者名: Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 巻: 印刷中
  • 査読あり
• [雑誌論文] 固体物性からみたレーザーアブレーション, --- 講座:レーザー生成プラズマの新しい温度，密度領域における物性とシミュレーション --- (2013)
  • 著者名/発表者名: 富田卓朗
  • 雑誌名: プラズマ・核融合学会誌 巻: 89 ページ: 493-499
  • 査読あり
• [学会発表] フェムト秒レーザー照射による SiC 上へのオーミック電極作製の可能性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 富田 卓朗
  • 学会等名: 日本金属学会中四国支部 第54回材質制御研究会
  • 発表場所: 徳島大学 (徳島県徳島市)
  • 年月日: 2015-09-25
  • 招待講演
• [学会発表] タングステンにおけるアブレーション過程のフルエンス依存性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 柿本 直也, 井筒 類, 富田 卓朗
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場 (愛知県名古屋市)
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] 軟X線干渉計測を用いたタングステンにおけるアブレーション過程の観測 (2015)
  • 著者名/発表者名: 柿本 直也, 井筒 類, 富田 卓朗
  • 学会等名: 2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
  • 発表場所: 徳島大学 (徳島県徳島市)
  • 年月日: 2015-08-01
• [学会発表] 軟X線シャドウグラフを用いたタングステンにおけるアブレーション過程の観測 (2015)
  • 著者名/発表者名: 井筒 類, 柿本 直也, 富田 卓朗
  • 学会等名: 2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
  • 発表場所: 徳島大学 (徳島県徳島市)
  • 年月日: 2015-08-01
• [学会発表] SiC基板への回路描画を目指したフェムト秒レーザー改質 (2015)
  • 著者名/発表者名: 板東 洋太, 直井 美貴, 富田 卓朗
  • 学会等名: 2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
  • 発表場所: 徳島大学 (徳島県徳島市)
  • 年月日: 2015-08-01
• [学会発表] The Shape of The Exfoliated Surface during Femtosecond Laser Ablation (2015)
  • 著者名/発表者名: Naoya Kakimoto, Takashi Eyama, Rui Izutsu and Takuro Tomita
  • 学会等名: The 7th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
  • 発表場所: KITAKYUSHU INTERNATIONAL CONFERENCE CENTER (福岡県北九州市)
  • 年月日: 2015-05-26
  • 国際学会
• [学会発表] 金属のフェムト秒レーザーアブレーション過程における剥離形状と照射強度分布の相関 (2015)
  • 著者名/発表者名: 江山 剛史, 柿本 直也, 井筒 類, 富田 卓朗, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会第70回年次大会
  • 発表場所: 早稲田大学 (東京都新宿区)
  • 年月日: 2015-03-23
• [学会発表] 軟X線シャドウグラフを用いたフェムト秒レーザー照射によるタングステンの剥離薄膜形状の観測 (2015)
  • 著者名/発表者名: 柿本 直也, 江山 剛史, 井筒 類, 富田 卓朗, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会第70回年次大会
  • 発表場所: 早稲田大学 (東京都新宿区)
  • 年月日: 2015-03-22
• [学会発表] フェムト秒レーザーアブレーションにおけるタングステン剥離薄膜形状の局所強度依存性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 井筒 類, 江山 剛史, 柿本 直也, 富田 卓朗, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 第62 回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学 (神奈川県平塚市)
  • 年月日: 2015-03-11
• [学会発表] A study of the femto-second laser ablation process in metals by using a soft x-ray laser probe (2014)
  • 著者名/発表者名: Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Naofumi Ohnishi, Atsushi M. Ito, Motoyoshi Baba, Yasuo Minami, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: Plasma Conference 2014
  • 発表場所: Tokimesse (新潟県新潟市)
  • 年月日: 2014-11-21
• [学会発表] Observation of Femtosecond Laser Ablation on Tungsten by using Soft X-ray Laser (2014)
  • 著者名/発表者名: Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Naofumi Ohnishi, Atsushi M. Ito, Motoyoshi Baba, Yasuo Minami, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: Plasma Conference 2014
  • 発表場所: Tokimesse (新潟県新潟市)
  • 年月日: 2014-11-21
• [学会発表] Observation of femtosecond laser ablation process in nano-seconds region by soft x-ray shadow graph (2014)
  • 著者名/発表者名: Naoya Kakimoto, Takashi Eyama, Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: 9th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications
  • 発表場所: Kunibikimesse(島根県松江市)
  • 年月日: 2014-10-01
• [学会発表] 軟X 線シャドウグラフを用いた金における フェムト秒レーザーアブレーション過程のフルエンス依存性 (2014)
  • 著者名/発表者名: 柿本 直也, 江山 剛史, 富田 卓朗, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 第75 回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学 (北海道札幌市)
  • 年月日: 2014-09-17
• [学会発表] タングステンにおけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の軟X線プローブ光を用いた観測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 江山 剛史, 柿本 直也, 富田 卓朗, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 馬場 基芳, 大西 直文, 伊藤 篤史, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会秋季大会
  • 発表場所: 中京大学 (愛知県春日井市)
  • 年月日: 2014-09-10
• [学会発表] Observation of Weakly Excited Ablation Dynamics with Femtosecond Laser by using Time-Resolved Soft X-ray Imaging Technique (2014)
  • 著者名/発表者名: Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Takuro Tomita, Daiki Hatomi, Naofumi Ohnishi, Atsushi M Ito, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: 14th International Conference for X-Ray Lasers 2014
  • 発表場所: Colorado State University (Fort Collins, Colorado, USA)
  • 年月日: 2014-05-30
• [学会発表] Progress and Prospects of Coherent X-ray Research using High Power Lasers in JAEA (2014)
  • 著者名/発表者名: T. Kawachi, M. Nishikino, A. Sasaki, M. Ishino, N. Hasegawa, T.i Imazono, P. Tatian, A. Faenov, M. Magnitskiy, M. Maruyama, T. Tomita, T. Suemoto, P. Alexander, S. Bulanov, H. Kiriyama, M. Yamagiwa, M. Kando, M. Yamagiwa, K. Kondo, P. Bolton, Y. Kato
  • 学会等名: 14th International Conference for X-Ray Lasers 2014
  • 発表場所: Colorado State University (Fort Collins, Colorado, USA)
  • 年月日: 2014-05-26
• [学会発表] Direct observation of femtosecond laser ablation on metals by plasma-based soft x-ray laser (2014)
  • 著者名/発表者名: Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: International conference on HIGH ENERGY DENSITY SCIENCES
  • 発表場所: Pacifico Yokohama (神奈川県横浜市)
  • 年月日: 2014-04-24
• [学会発表] Observation of the transient state of the femtosecond laser ablation phenomena on various metals (2014)
  • 著者名/発表者名: Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Takashi Eyama, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: 8th International Conference on Reactive Plasmas 31st Symposium on Plasma Processing
  • 発表場所: Fukuoka Convention Center (Fukuoka)
• [学会発表] 斜入射型反射軟X線顕微鏡によるサブミクロン画像観察 (2014)
  • 著者名/発表者名: 馬場 基芳, 錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 南 康夫, 武井 亮太, 山極 満, 河内 哲哉, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会年次大会
  • 発表場所: 東海大学 (神奈川県)
• [学会発表] フェムト秒レーザー照射に伴う金属表面剥離過程の分子動力学解析 (2014)
  • 著者名/発表者名: 羽富 大起, 大西 直文, 錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 伊藤 篤史, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会年次大会
  • 発表場所: 東海大学 (神奈川県)
• [学会発表] 軟X線ニュートンリングとシャドウグラフを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 江山 剛史, 柿本 直也, 富田 卓朗, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 大西 直文, 羽富 大起, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会年次大会
  • 発表場所: 東海大学 (神奈川県)
• [学会発表] 軟X線レーザープローブを用いた，金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 山極 満, 長谷川 登, 錦野 将元, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 大西 直文, 羽富 大起, 伊藤 篤史, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会年次大会
  • 発表場所: 東海大学 (神奈川)
• [学会発表] 軟X線イメージングによる金属表面におけるアブレーション過程の観測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 大西 直文, 羽富 大起, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会年次大会
  • 発表場所: 東海大学 (神奈川県)
• [学会発表] 軟X線レーザーを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測II (2014)
  • 著者名/発表者名: 錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 大西 直文, 羽富 大起, 伊藤 篤史, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会年次大会
  • 発表場所: 東海大学 (神奈川県)
• [学会発表] 軟X線レーザーを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測I (2014)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 錦野 将元, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 大西 直文, 羽富 大起, 伊藤 篤史, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会年次大会
  • 発表場所: 東海大学 (神奈川県)
• [学会発表] 軟 X 線シャドウグラフを用いたナノ秒スケールにおける金のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 柿本 直也, 江山 剛史, 富田 卓朗, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 馬場 基芳, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 第 61 回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学 (神奈川県)
• [学会発表] 軟X線レーザープローブを用いた金属のフェムト秒レーザーアブレーション過程の時間分解計測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 富田 卓朗, 錦野 将元, 武井 亮太, 馬場 基芳, 江山 剛史, 柿本 直也, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: レーザー学会創立40周年記念学術講演会 第34回年次大会
  • 発表場所: 北九州国際会議場 (福岡県)
• [学会発表] 軟X線レーザーによる金のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 羽富 大起, 大西 直文, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: レーザー学会創立40周年記念学術講演会 第34回年次大会
  • 発表場所: 北九州国際会議場 (福岡県)
• [学会発表] Observation of the surface dynamics of femtosecond laser ablation by time-resolved soft x-ray imaging techinique (2013)
  • 著者名/発表者名: Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: The Eighth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications
  • 発表場所: Nara Prefectural New Public Hall (Nara)
• [学会発表] Femtosecond laser ablation process on platinum and gold observed by plasma-based soft x-ray laser (2013)
  • 著者名/発表者名: Takashi Eyama, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Yusuke Hirano, Toshimasa Morita, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: The Eighth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications
  • 発表場所: Nara Prefectural New Public Hall (Nara)
• [学会発表] Observation of the nano-scale surface dynamics of femtosecond laser ablation by time-resolved soft x-ray imaging technique (2013)
  • 著者名/発表者名: Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: SPIE Optics + Photonics 2013
  • 発表場所: San Diego Convention Center (San Diego)
  • 招待講演
• [学会発表] A study of the femto-second laser ablation process in metals by using a single shot soft x-ray laser probe (2013)
  • 著者名/発表者名: Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Ryota Takei, Takeshi Kaihori, Yusuke Hirano, Toshimasa Morita, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
  • 学会等名: The 12th Asia Pacific Physics Conference
  • 発表場所: Makuhari Messe International Conference Halls (Chiba)
• [学会発表] レーザーアブレーションダイナミクスのイメージング (2013)
  • 著者名/発表者名: 富田 卓朗
  • 学会等名: 第9回励起ナノプロセス研究会
  • 発表場所: 筑波大学東京キャンパス (東京都)
  • 招待講演
• [学会発表] Pt表面におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の分子動力学解析 (2013)
  • 著者名/発表者名: 羽富 大起, 大西 直文, 錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会秋季大会
  • 発表場所: 徳島大学 (徳島県)
• [学会発表] ピコ秒からサブマイクロ秒時間領域における金属のフェムト秒レーザーアブレーションダイナミクスの観測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 錦野 将元, 海堀 岳史, 平野 祐介, 守田 利昌, 河内 哲哉, 山極 満, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 羽富 大起, 大西 直文, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会秋季大会
  • 発表場所: 徳島大学 (徳島県)
• [学会発表] 軟X線反射率イメージングによる金および白金におけるレーザーアブレーションダイナミクスの観測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 江山 剛史, 富田 卓朗, 錦野 将元, 長谷川 登, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 大西 直文, 羽富 大起, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 日本物理学会秋季大会
  • 発表場所: 徳島大学 (徳島県)
• [学会発表] 軟X 線レーザーによる金及び白金におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 江山 剛史, 富田 卓朗, 錦野 将元, 長谷川 登, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 大西 直文, 羽富 大起, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
  • 学会等名: 第74回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学 (京都府)
• [備考] 徳島大学理工学部理工学科電気電子システムコース物性デバイス大講座
  • URL: http://www.ee.tokushima-u.ac.jp/Research/aMDS/MDS_res.html