| 研究課題/領域番号 |
25289010
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
厨川 常元 東北大学, 医工学研究科, 教授 (90170092)
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| 研究分担者 |
水谷 正義 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (50398640)
嶋田 慶太 東北大学, 大学院工学研究科, 助教 (30633383)
今野 豊彦 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (90260447)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円)
2015年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2013年度: 11,050千円 (直接経費: 8,500千円、間接経費: 2,550千円)
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| キーワード | 成膜 / レーザ / 機能性インターフェース / 微細構造 / ガラス / ポリシラザン / プラズモン |
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| 研究成果の概要 |
本研究は，ガラス材料の表面に微細構造を加工するための新たな超短パルスレーザ加工法を提案し，その加工プロセスの妥当性を実験的に検証したものである．具体的には光吸収性を有する前駆物質を含む表面に超短パルスレーザを照射する手法であり，本手法により石英ガラス表面に対して無反射機能を有する微細な構造体を創成することに成功した．また，本手法の工業的応用にむけた大面積加工システムの開発も行っており，その結果，20 mm × 20 mmの面積の石英ガラス表面に反射率0.44 %の低反射率を持つ微細構造を加工可能であることも明らかにした．
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