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時間分解コヒーレントフォノン制御を用いた表面原子のインプロセスナノ加工・計測

研究課題

研究課題/領域番号 25289017
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関九州大学 (2014-2015)
大阪大学 (2013)

研究代表者

林 照剛  九州大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (00334011)

研究分担者 高谷 裕浩  大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70243178)
道畑 正岐  大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (70588855)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円)
2015年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
2013年度: 8,840千円 (直接経費: 6,800千円、間接経費: 2,040千円)
キーワードフェムト秒レーザー / 表面励起加工 / コヒーレントフォノン / コヒーレント励起 / インコヒーレント励起 / アブレーション / パルストレイン / ダブルパルス / 表面励起 / レーザー加工 / ダメージレス加工 / 表面加工 / ナノ加工 / レーザーアブレーション / パルストレインビーム / レーザーアブレ-ション
研究成果の概要

本研究では,時間的に近接させた2つのフェムト秒パルスビーム(ダブルパルスビーム)を照射した時に,第1のパルス照射後に,ターゲット表面に生じるインコヒーレントなプラズマ励起,格子系のコヒーレント振動励起などの瞬間的な励起現象を低照度レーザー加工に応用することを検討している.本課題では,フェムト秒レーザー照射直後から100ps程度の時間が経過するまでの過渡的なプラズマ励起および格子系の励起現象,また,励起表面の加工中に生じるターゲット表面の形態変化について,時間分解観察を行い,低照度ダブルパルスビームによるレーザー加工現象の基礎過程を調べる.

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実績報告書
  • 2013 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2016 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (9件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Dynamics of spallation during femtosecond laser ablation studied by time-resolved reflectivity with double pump pulses2016

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Kumada, Tomohito Otobe, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, and Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 108 号: 1 ページ: 011102-011102

    • DOI

      10.1063/1.4939231

    • NAID

      120006502168

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] ダブルパルスビームを用いた時間分解表面励起加工に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • 学会等名
      電気加工学会全国大会
    • 発表場所
      四国大学交流プラザ
    • 年月日
      2016-12-03
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,松永啓伍,王 成武,松川洋二
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京理科大学
    • 年月日
      2016-03-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体表面励起加工に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 横尾英昭, 王 成武, 松川洋二, 黒河周平
    • 学会等名
      日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第2報)-加工エネルギー閾値の検討2015

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,王 成武,松川洋二
    • 学会等名
      精密工学会秋期全国大会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2015-09-04
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第 2 報) -コヒーレントフォノンの時間分解計測システムの開発-2015

    • 著者名/発表者名
      大菊 崇弘, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第二報) -コヒーレントフォノン励起状態の時間分解計測-2014

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 大菊崇弘, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第三報) -テラヘルツ帯域でのエネルギー伝達機構の検討-2014

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 大島玄喜, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Study on surface processing by using femto-second pulse train beam with excitation of coherent phonon2013

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Yusuke Fukuta, Masaki Michihata, and Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, (ASPE2013)
    • 発表場所
      St. Paul, Minnesota, USA,
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [産業財産権] レーザー加工装置2015

    • 発明者名
      林 照剛,黒河周平
    • 権利者名
      九州大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-170450
    • 出願年月日
      2015-08-31
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [産業財産権] レーザー加工装置,レーザー加工方法及び加工物の製造方法2014

    • 発明者名
      林 照剛,高谷裕浩,道畑正岐
    • 権利者名
      林 照剛,高谷裕浩,道畑正岐
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2014
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書

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公開日: 2013-05-21   更新日: 2019-07-29  

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