| 研究課題/領域番号 |
25289066
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 関西大学 |
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研究代表者 |
新井 泰彦 関西大学, システム理工学部, 教授 (80131415)
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| 研究分担者 |
青柳 誠司 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
18,590千円 (直接経費: 14,300千円、間接経費: 4,290千円)
2016年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2014年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2013年度: 14,820千円 (直接経費: 11,400千円、間接経費: 3,420千円)
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| キーワード | ナノマイクロメカトロニクス / 三次元形状計測 / 元素分析 / 半導体回路検査 / 疲労破壊面検査 / 構成元素 / 同時検出システム / 電子線 / 光学技術応用 / 電子顕微鏡 |
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| 研究成果の概要 |
光学技術として培われた縞解析技術を基礎に，光を電子線に置き換えることによって，微小三次元構造物の非接触形状計測が10μm以下の分解能をもって実現されている．ところが，測定対象表面の傷の形状等は，三次元形状計測で観測可能であるものの，表面の酸化，異物混入等による摩耗面の劣化，あるいは半導体素子では，ドープの状況等による材料の局部的な物性値の変化に伴う問題を観察することはできない．
本研究では，微小構造物を容易にnmオーダーで三次元形状計測ができるとともに，その測定対象がどのような元素で構成されているのかを同時に計測が可能な検出装置を開発する
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