| 研究課題/領域番号 |
25289080
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 東京工科大学 (2014-2015)
東北大学 (2013) |
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研究代表者 |
木村 康男 東京工科大学, 工学部, 教授 (40312673)
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| 研究分担者 |
馬 騰 東北大学, 電気通信研究所, 助教 (10734543)
庭野 道夫 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (20134075)
平野 愛弓 東北大学, 医工学研究科, 准教授 (80339241)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2015年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2014年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2013年度: 11,180千円 (直接経費: 8,600千円、間接経費: 2,580千円)
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| キーワード | ガスセンサ / 陽極酸化 / 酸化チタン / ナノチューブ |
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| 研究成果の概要 |
フォトリソグラフィー技術と陽極酸化技術を組み合わせた局所陽極酸化技術を用い、酸化チタンナノチューブを用いた微小ガスセンサを作製した。さらに、作製した微小ガスセンサにPtやPd等の触媒金属ナノ粒子電気化学的に選択的に堆積することに成功した。Ptは大きく感度を約300倍近く向上させた。一方、水素及び一酸化炭素に対する応答特性への触媒金属の効果は大きく異なっていた。この成果は、応答特性の異なるガスセンサを集積化でき、異なるセンサの応答を解析することにより多成分同時検出可能なワンチップガスセンサを構築できることを示している。
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