研究課題
基盤研究(B)
本研究では，半導体表面に高密度なセンサ回路構造を高密度に集積した後，MEMS技術で半導体シリコンを柔軟に変形可能な構造として，指先の皮膚に近い機能と柔軟性を両立させる高度な検知能を備えた人工皮膚型触覚センサの実現を目指して研究を行った。触感の定量化にむけて，人間の皮膚感覚による対象物表面の評価を模倣し，様々な物理量から各因子を抽出して総合的に評価することを目指して研究を実施した。半導体集積回路技術とMEMS技術の融合により，人間の指先が有する様々な触覚・触感に関する検知能を備えた人工皮膚型触覚センサを実現し，その応用展開に向けたデバイス技術開発と触感の定量化にむけたシステム化研究を行った。
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