| 研究課題/領域番号 |
25390047
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 立命館大学 |
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研究代表者 |
大上 芳文 立命館大学, 理工学部, 教授 (30203722)
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| 研究分担者 |
デイン スワンチェン (DINH XuanThien) 立命館大学, 理工学研究科, 研究員 (40469200)
福留 功二 立命館大学, 理工学部, 助教 (70710698)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2014年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
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| キーワード | ナノマイクロセンサー / 加速度センサー / MEMS / 数値流体力学 / 熱流体 |
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| 研究成果の概要 |
熱流体の慣性を利用して3軸方向の加速度を検知する加速度センサーの設計開発を行った．
まず3軸方向の加速度が干渉しないで測定出来る温度センサーの位置を明らかにした．次にヒーターの形状を円形，4分割型，点型とし，それぞれの測定性能を明らかにした．マクロスケールでの解析，およびサイズを20倍にした装置を作成し，加速度に比例する温度差を検知することができ作動原理の正しさが確認された．最後に非定常状態の応答性を解析し，実用的な測定を行うための周波数の上限を明らかにすることができた．
以上のように3軸方向加速度センサーの設計は行えたので，次はMEMS技術を用いて製作，実験を行う段階に到達したと言える．
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