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マイクロカロリメータEDSによる透過型電子顕微鏡での組成分析の高度化とその応用

研究課題

研究課題/領域番号 25390086
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

原 徹  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 表界面構造・物性ユニット, 主席研究員 (70238161)

連携研究者 前畑 京介  国立大学法人九州大学, 工学研究院エネルギー量子工学部門, 准教授 (30190317)
西田 稔  国立大学法人九州大学, 綜合理工学研究院融合創造理工学部門, 教授 (90183540)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワード電子顕微鏡 / 組成分析 / 超伝導遷移端センサ / マイクロカロリメータ / X線分析 / 金属材料 / エネルギー分解能 / 分析電子顕微鏡
研究成果の概要

透過型電子顕微鏡(S/TEM)での組成分析の高度化を目的として開発している「超伝導遷移端センサ(TES)型マイクロカロリメータ」X線検出器を、十分実用として使える測定手法とするための開発研究である。本研究はハードウェアの開発を行うものではなく、別途開発した装置の各種パラメータの測定、実験手法の最適化やノウハウの蓄積などの手法部分に主眼を置くものである。本研究により、超高エネルギー分解能でのX線分析の検出効率や検出限界の評価を行い、それを元に応用研究を実施するフェーズに到達することができた。

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (2件)

すべて 2015 2014

すべて 学会発表 (2件) (うち招待講演 1件)

  • [学会発表] マイクロカロリメータEDSによるSTEMでの組成分析の高精度化2015

    • 著者名/発表者名
      原 徹
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第39回関東支部講演会
    • 発表場所
      工学院大学新宿キャンパス
    • 年月日
      2015-02-28
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Development of an Analytical TEM with a Transition-Edge Sensor type Microcalorimeter EDS detector2014

    • 著者名/発表者名
      原 徹、田中啓一、前畑京介、満田和久、山崎典子、山中良浩
    • 学会等名
      18th. International Microscopy Congress
    • 発表場所
      Prague Congress Center, Prague
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-12
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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