研究課題/領域番号 |
25390086
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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研究機関 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
研究代表者 |
原 徹 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 表界面構造・物性ユニット, 主席研究員 (70238161)
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連携研究者 |
前畑 京介 国立大学法人九州大学, 工学研究院エネルギー量子工学部門, 准教授 (30190317)
西田 稔 国立大学法人九州大学, 綜合理工学研究院融合創造理工学部門, 教授 (90183540)
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研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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キーワード | 電子顕微鏡 / 組成分析 / 超伝導遷移端センサ / マイクロカロリメータ / X線分析 / 金属材料 / エネルギー分解能 / 分析電子顕微鏡 |
研究成果の概要 |
透過型電子顕微鏡(S/TEM)での組成分析の高度化を目的として開発している「超伝導遷移端センサ(TES)型マイクロカロリメータ」X線検出器を、十分実用として使える測定手法とするための開発研究である。本研究はハードウェアの開発を行うものではなく、別途開発した装置の各種パラメータの測定、実験手法の最適化やノウハウの蓄積などの手法部分に主眼を置くものである。本研究により、超高エネルギー分解能でのX線分析の検出効率や検出限界の評価を行い、それを元に応用研究を実施するフェーズに到達することができた。
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