傾斜エリプソメトリーによるその場精密3次元形状計測法の開発

• 研究課題/領域番号: 25390089
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 光工学・光量子科学
• 研究機関: 山形大学
• 研究代表者: 津留 俊英 山形大学, 教育文化学部, 准教授 (30306526)
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2016-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2015年度)
• 配分額: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円); 2015年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円); 2013年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
• キーワード: 偏光 / エリプソメトリー / 形状計測

研究成果の概要

円偏光照明による2次元偏光解析で試料の3次元形状を精密計測できる傾斜エリプソメトリーの高精度化と高速化を目指して、LEDを光源とした円偏光度97%以上の疑似ドーム型照明装置を作製した。また、高速4検出器型ポラリメーターを開発して液晶可変リターダーの較正法を考案した。作製した円偏光照明装置を用いて、2つの波長で計測した異なる偏光画像から同一傾斜角及び傾斜方位角が得られ、傾斜エリプソメトリーの高感度特性が実証できた。

研究成果

• [雑誌論文] 2次元偏光解析による3次元形状計測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英, 山本治美, 松川裕章
  • 雑誌名: 表面科学 巻: 35 号: 6 ページ: 300-305
  • DOI: 10.1380/jsssj.35.300
  • NAID: 130004718846
  • ISSN: 0388-5321, 1881-4743
  • 査読あり
• [学会発表] エリプソメトリーによる3次元形状計測のための偏光照明法 (2016)
  • 著者名/発表者名: 小川広暉、津留俊英
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東工大
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] EUV用偏光光学素子の開発と応用 (2015)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英
  • 学会等名: 第11回偏光計測研究会
  • 発表場所: 株式会社フォトロン
  • 年月日: 2015-12-04
• [学会発表] 4検出器型偏光計の高精度化と高速化 (2015)
  • 著者名/発表者名: 石澤倫、津留俊英
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] 4検出器法による液晶可変リターダーの光学特性評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英
  • 学会等名: 偏光計測・制御技術研究グループ偏光勉強会
  • 発表場所: 東京都立産業技術研究センター
  • 年月日: 2014-12-24
• [学会発表] 4検出器法による高速偏光計測システムの開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 石澤倫, 津留俊英
  • 学会等名: 第69回応用物理学会東北支部学術講演会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2014-12-04
• [学会発表] 液晶可変リターダーの光学特性評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 大沼穂乃花, 石澤美希, 石澤倫, 津留俊英
  • 学会等名: 第69回応用物理学会東北支部学術講演会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2014-12-04
• [学会発表] 光による三次元形状計測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英
  • 学会等名: 第64次山形地区教育研究合同集会
  • 発表場所: 山形市立第四中学校
  • 年月日: 2014-10-11
  • 招待講演
• [学会発表] 振幅分割型ポラリメーターによる液晶可変リターダーの評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 石澤倫, 津留俊英
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] Three-dimensional shape measurement of a glossy object by imaging ellipsometry (2013)
  • 著者名/発表者名: Toshihide Tsuru
  • 学会等名: The 6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [備考] 津留研究室ホームページ
  • URL: http://www.e.yamagata-u.ac.jp/~ttsuru/
• [備考] 津留研究室ホームページ
  • URL: http://www.e.yamagata-u.ac.jp/~ttsuru/