研究課題/領域番号 |
25390143
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
量子ビーム科学
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研究機関 | 公益財団法人高輝度光科学研究センター |
研究代表者 |
出羽 英紀 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 加速器部門, 副主幹研究員 (20360836)
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研究分担者 |
水野 明彦 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 加速器部門, 副主幹研究員 (30360829)
冨澤 宏光 公益財団法人高輝度光科学研究センター, XFEL利用研究推進室, 副主幹研究員 (40344395)
谷内 努 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 加速器部門, 副主幹研究員 (60360822)
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研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2017-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2015年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2014年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2013年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
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キーワード | グラフェン / 加速器 / 高周波 / 高周波空洞 / 熱CVD法 / Q値 / 熱CVD / ラマン分光計測 / 無酸素銅 / 電気伝導 / 空洞共振器 / 成膜 / 加速空洞 / 電気伝導度 / CVD |
研究成果の概要 |
銅よりも大きな電子移動度,高い熱伝導率,高い表面強度といった優れた特徴を持つグラフェンに注目し、粒子加速器用高周波空洞の表面材料としての適用について研究をおこなった。高周波空洞成膜用の熱CVD炉を製作し、超精密旋盤で表面を加工した無酸素銅空洞の表面に熱CVD法を用いてグラフェンを成膜することにより、グラフェンの高周波空洞の製作を試みた。無酸素銅薄膜上にグラフェンを成膜できることが確認され、同じプロセス条件で無酸素銅空洞上へのグラフェンの熱CVDによる成膜を試みた。空洞の銅表面に炭素膜が成膜されたことは確認できたが、ラマン分光ではグラフェンの成膜を確認することはできなかった。
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