• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

反射電子回折図形測定から結晶成長中の実空間その場観察を可能にする方法の理論的研究

研究課題

研究課題/領域番号 25400321
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 物性Ⅰ
研究機関東京大学 (2015-2017)
山梨大学 (2013-2014)

研究代表者

川村 隆明  東京大学, 生産技術研究所, シニア協力員 (20111776)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2016年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2015年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2014年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2013年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワード位相回復法 / 反射電子回折 / エピタキシャル成長 / 表面モフォロジー / その場観察 / 反射電子回折(RHEED) / 摂動法 / 反射電子回折(RHEED) / 反射電子兼備鏡法 / 結晶成長 / テンソル法 / 位相回復 / 反射電子顕微法
研究成果の概要

X線や電子線などの回折強度から結晶内の原子配列を決める上での基本的問題である位相問題を解決する方法の一つであるオーバー・サンプリング法を反射電子回折に適用し、分子線エピタキシー成長法などの結晶成長中の結晶表面の形態を“その場”で観察する手法を開発した。この手法により、1原子層が成長する途中に形成される原子が集合した島の形態、すなわち、島の大きさ、形状、分布などを、その場で観察し制御することが可能になった。

報告書

(6件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実施状況報告書
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2018 2017 2016 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 4件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Fast Phase Retrieval from Reflection High Energy Electron Diffraction Intensities during Growth2018

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Kawamura
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 16 号: 0 ページ: 97-100

    • DOI

      10.1380/ejssnt.2018.97

    • NAID

      130006712446

    • ISSN
      1348-0391
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Origin of RHEED intensity oscillation during homoepitaxial growth on Si(001)2014

    • 著者名/発表者名
      T. Kawamura and P.A. Maksym
    • 雑誌名

      Surface Science

      巻: 630 ページ: 125-135

    • DOI

      10.1016/j.susc.2014.07.016

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] An X-ray diffractometer using mirage diffraction2014

    • 著者名/発表者名
      T. Fukamachi, S. Jongsukswat, D. Ju, R. Negishi, K. Hirano and T. Kawamura
    • 雑誌名

      Journal of Applied Crystallography

      巻: 47 号: 4 ページ: 1267-1272

    • DOI

      10.1107/s1600576714012114

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] RHEED強度から表面モフォロジーを得る位相回復法の最適化2017

    • 著者名/発表者名
      川村隆明
    • 学会等名
      日本物理学会第72回年次大会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2017-03-17
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] 成長中の表面モフォロジーをRHEED強度から高速に位相回復する方法2017

    • 著者名/発表者名
      川村隆明
    • 学会等名
      日本物理学会2017年秋季大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Fast phase retrieval algorithm from RHEED intensities during growth2017

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Kawamura
    • 学会等名
      8th International Symposium on Surface Science and Nanotechnology
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] RHEEDオーバーサンプリング法による表面モフォロジー2016

    • 著者名/発表者名
      川村隆明
    • 学会等名
      日本物理学会2016年秋季大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] A direct observation method of surface morphology from RHEED intensities during growth2016

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Kawamura
    • 学会等名
      Energy Materials Nanotechnology Meeting on Epitaxy
    • 発表場所
      ブダペスト、ハンガリー
    • 年月日
      2016-09-04
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Wave function and phase retrieval of RHEED from growing surfaces2016

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Kawamura
    • 学会等名
      European Conference on Surface Science
    • 発表場所
      グルノーブル、フランス
    • 年月日
      2016-08-28
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] RHEED強度から表面モフォロジーを得る位相回復法2016

    • 著者名/発表者名
      川村隆明
    • 学会等名
      日本物理学会第71回年次大会
    • 発表場所
      東北学院大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Recovery of surface morphology during growth from diffraction intensities2015

    • 著者名/発表者名
      Takaaki Kawamura
    • 学会等名
      European Conference on Surface Crystallography and Dynamics
    • 発表場所
      Trieste(Italy)
    • 年月日
      2015-10-18
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] RHEED強度を利用した表面モフォロジー変化の解析2015

    • 著者名/発表者名
      川村隆明
    • 学会等名
      日本物理学会2015年秋季大会
    • 発表場所
      関西大学(大阪府吹田市)
    • 年月日
      2015-09-16
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] RHEED波動関数による回折条件の検証2014

    • 著者名/発表者名
      川村隆明
    • 学会等名
      日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      中部大学(愛知県)
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-10
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 多重散乱理論に基づくRHEED強度と波動場の計算2014

    • 著者名/発表者名
      川村 隆明
    • 学会等名
      日本物理学会第69回年次大会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 波動関数によるRHEED強度振動の起源の解析2013

    • 著者名/発表者名
      川村 隆明
    • 学会等名
      日本物理学会2013年秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2014-07-25   更新日: 2020-05-15  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi