| 研究課題/領域番号 |
25400533
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
文 宗鉉 静岡大学, 工学部, 助教 (30514947)
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| 連携研究者 |
中本 正幸 静岡大学, 工学部, 教授 (10377723)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2014年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2013年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
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| キーワード | 基礎・放電プラズマ / MEMS / 高気圧プラズマ / 微小突起アレイ陰極 / 紫外光 |
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| 研究成果の概要 |
均一性に優れた先鋭なμmからnmサイズ構造作製が容易なマイクロエレクトロメカニカルシステム技術の一種、 転写モールド法を用いることで、数百から数ｋVoltの高電圧印加による突起の破壊にならない高硬度・高化学安定性のあるアモルファスカーボン等の材料からなる転写モールド法微小突起陰極アレイプラズマ源を作製した。基底部長さ1570nmから41nmまで微小化した場合の放電開始電圧は201Vから160Vと低くなり、放電電流変動率は1.8％となり、従来の誘電体バリア放電の0.5-2.1kV、2-6％と比較して、非常に低電圧駆動と高い安定性を持つ転写モールド法微小突起陰極アレイプラズマ源の試作が成功した。
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