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高速・無電荷ガスクラスタービームの生成とSIMSへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 25410147
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 分析化学
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

持地 広造  兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (40347521)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2014年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2013年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
キーワードクラスターイオン / 衝突 / 解離 / 弾性定数 / ヤング率 / 金属 / グラフェン / 衝撃応力 / 分子動力学シミュレーション / 質量スペクトル / 原子間ポテンシャル / 中性化率
研究成果の概要

1500個のアルゴン(Ar)原子から構成されるクラスターイオンを、5 eV/原子以下の衝突エネルギーで数種類の金属試料に衝突させた時、クラスターイオンの解離の激しさ(解離度)が金属の種類によって異なることを発見し、この現象が衝突時の衝撃力の違いによるものであることを明らかにした。弾性衝突近似のもとでは衝撃力は試料のヤング率に依存するので、解離度の測定から未知材料のヤング率を求めることができる。さらに、銅基板にグラフェン(1層)を積層させた試料にこの方法を応用した結果、衝突時にグラフェンが変形することによって、グラフェンを積層させない場合に比べて解離度が1/5に緩和されることが示された。

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2016 2015 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Argon cluster ions cleaning and probing a graphene layer on copper2015

    • 著者名/発表者名
      Kozo Mochiji, Norio Inui, Ryousuke Asa, Kousuke Moritani
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 13 ページ: 167-173

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Mass spectrometric analysis of the dissociation of argon cluster ions in collision with several kinds of metal2014

    • 著者名/発表者名
      Kozo Mochiji, Naoki Se, Norio Inui and Kousuke Moritani
    • 雑誌名

      Rapid communications in Mass Spectrometry

      巻: 28 号: 19 ページ: 2141-2146

    • DOI

      10.1002/rcm.7004

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 解離性イオン散乱を用いたグラフェンの弾性プローブ2016

    • 著者名/発表者名
      持地広造、乾 徳夫、盛谷浩右
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス(目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Dissociative scattering of argon cluster ions as a probe for mechanical properties of material surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      Kozo Mochiji, Norio Inui, Kousuke Moritani
    • 学会等名
      第16回『イオンビームによる表面・界面解析』特別研究会
    • 発表場所
      奈良女子大学(奈良市)
    • 年月日
      2015-12-05
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Mass spectrometric method to probe a graphene on copper by using argon cluster ions2015

    • 著者名/発表者名
      Kozo Mochiji, Norio Inui, Ryousuke Asa, Kousuke Moritani
    • 学会等名
      NN15 Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Thessaloniki (Greece)
    • 年月日
      2015-07-06
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Arクラスターイオンの衝突誘起解離2014

    • 著者名/発表者名
      阿佐亮祐、乾 徳夫、盛谷浩右、持地広造
    • 学会等名
      第34回表面科学学術講演会
    • 発表場所
      島根県立産業交流会館
    • 年月日
      2014-11-06 – 2014-11-08
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Arクラスターイオンの衝突解離に関する一考察

    • 著者名/発表者名
      瀬 直己、持地広造、乾 徳夫、盛谷浩右
    • 学会等名
      第74回応用物理学秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Arクラスターイオンの衝突誘起解離

    • 著者名/発表者名
      瀬 直己、持地広造、乾 徳夫、盛谷浩右
    • 学会等名
      真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] クラスターイオンの衝突解離に関する弾性力学的考察

    • 著者名/発表者名
      阿佐亮祐、瀬 直己、乾 徳夫、盛谷浩右、持地広造
    • 学会等名
      機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会
    • 発表場所
      東洋大学白山キャンパス
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [産業財産権] 材料機械強度測定方法2013

    • 発明者名
      持地広造、乾 徳夫、盛谷浩右
    • 権利者名
      兵庫県立大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2013-183207
    • 出願年月日
      2013-09-04
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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