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金属機能材料中微小欠陥検出方法の開発研究

研究課題

研究課題/領域番号 25420039
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構

研究代表者

張 小威  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 物質構造科学研究所, 特別教授 (80217257)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 中途終了 (2014年度)
配分額 *注記
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2015年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2014年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2013年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
キーワードX線探傷 / 精密X線計量 / 放射線探傷 / 超伝導空洞 / X線検出器アレイ
研究実績の概要

厚み2mm程度のNb金属円盤(φ30)の両面を研磨して,鏡のようにし,材料厚みの均一性がミクロレベルで確保できた。そして,硬さ計の圧力を調整して,その材料上に凹みの配列をつけた。通常の硬さ計では小さい凹みをつけることができないので,ナノ硬さ計を利用して数ミクロンの凹みまで加工できた。
管電圧225keVと焦点サイズ数ミクロンのX線発生装置で金属円盤上の凹みの検出を試みた。撮像は2DのX線検出器を使い,画素の寸法が100ミクロンで,16ビットの階調分解能である。微焦点光源から擬似球面波が出てくるので,検出器を試料と光源からある程度離せば,その拡大の効果で数ミクロンのワイヤが見える。このようなシステムでX線の投影画像から数十ミクロン凹みの像まで見えた。
配列した凹みの外寸が顕微鏡で測定できるが,X線でみる深さ方向の寸法がなかなかわからない。いま探針法で深さの計測を試みているところである。その寸法がわかれば,X線画像の情報と照合して,定量的にX線による探傷が評価できる。
X線画像の中に,配列した凹みの画像が見えるが,その他,均一と思われる材料なのに,不規則な吸収コントラスト模様が見える。それは回折によるものもあり,試料の角度位置を変えると消えるものである。試料の角度位置によらず,いつも現れる吸収コントラストの模様は圧延による材料組織に関連があるように見える。微焦点光源による空間分解能とコントラストの改善は圧延による材料組織の密度変化が見えれば,材料中微小欠陥検出研究の意外な収穫となる。

報告書

(2件)
  • 2014 実績報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (2件)

すべて 2014 その他

すべて 学会発表 (2件)

  • [学会発表] シリコン金拡散接合で作製したマイクロチャンネル水冷分光結晶の評価2014

    • 著者名/発表者名
      張小威,亀卦川卓美,藤本弘之,内田佳伯
    • 学会等名
      第31回PFシンポシウム
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 年月日
      2014-04-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] CZシリコンの格子間隔と結晶内の酸素濃度の関係

    • 著者名/発表者名
      張小威 阿部孝夫 藤本弘之
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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