金属製中性子集光ミラー基板の超精密加工法の研究

• 研究課題/領域番号: 25420044
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 群馬大学
• 研究代表者: 林 偉民 群馬大学, 理工学府, 教授 (60321840)
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2016-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2015年度)
• 配分額: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円); 2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円); 2013年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
• キーワード: 機械工作・生産工学 / 精密研磨 / 精密部品加工 / 超精密計測 / 粒子線 / ハイブリッド加工プロセス

研究成果の概要

本提案研究は小型・可搬式中性子源の研究開発における中性子集光用，金属製中性子集光ミラー基板の超精密加工法の確立を目的としている．中性子用斜入射集光ミラーは設計された楕円面形状に対して，高い精度をもつとともに，高い表面粗さ（Ra0.3nm以下）の確保が必要である．本研究では形状創成能力の高いNiP製ミラー基板をターゲットにし，ダイヤモンドバイトより超精密切削加工で形状創成を行い，回転工具によるスキャン研磨法によるミラー基板の超精密仕上げを行い，中性子ミラー基板の加工が可能であることを確認した．

研究成果

• [雑誌論文] ハイブリッド加工プロセスによる超精密加工技術の研究 (2015)
  • 著者名/発表者名: 林 偉民
  • 雑誌名: 群馬大学理工学部100周年記念集 巻: 1 ページ: 436-437
• [雑誌論文] Study on Die Polishing Method of Micro Structured Molds Applying Low Frequency Vibration (2014)
  • 著者名/発表者名: W. Lin, S. K. Chee, T. Yano, H. Suzuki and T. Higuchi
  • 雑誌名: International Journal of Nanomanufacturing (IJNM) 巻: 10 ページ: 424-431
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Fine Finishing of Ground DOE Lens of Synthetic Silica by Magnetic Field-Assisted Polishing (2014)
  • 著者名/発表者名: H. Suzuki, M. Okada, W. Lin, S. Morita, Y. Yamagata, H. Hanada, H. Araki, S. Kashima
  • 雑誌名: Annals of the CIRP 巻: 64 ページ: 261-264
  • 査読あり
• [雑誌論文] Polishing Characteristics of a Low Frequency Vibration Assisted Polishing Method (2013)
  • 著者名/発表者名: W. Lin, S. K. Chee, H. Suzuki and T. Higuchi
  • 雑誌名: Advanced Materials Research 巻: 979 ページ: 450-454
  • 査読あり
• [学会発表] 砥石の表面状態とそのトライボロジー特性基礎研究 (2016)
  • 著者名/発表者名: 登坂俊亮, 林 偉民
  • 学会等名: 2016年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 千葉県・野田市
  • 年月日: 2016-03-15
• [学会発表] 高張力鋼板の冷間ロール成形における形状欠陥とFEM解析 (2015)
  • 著者名/発表者名: 麻生逸人, 西田進一, 林 偉民, 渡利久規
  • 学会等名: 型技術ワークショップ2015 in群馬
  • 発表場所: 群馬県・太田市
  • 年月日: 2015-11-19
• [学会発表] 潤滑剤がマグネシウム合金の熱間鍛造に及ぼす効果 (2015)
  • 著者名/発表者名: 佐藤由貴, 西田進一, 林 偉民, 渡利久規
  • 学会等名: 型技術ワークショップ2015 in群馬
  • 発表場所: 群馬県・太田市
  • 年月日: 2015-11-19
• [学会発表] 自転／公転研磨ユニットによる砥石研磨の基礎検討 (2015)
  • 著者名/発表者名: 林 偉民
  • 学会等名: 2015年度日本機械学会関東支部第23回茨城講演会
  • 発表場所: 茨城県・日立市
  • 年月日: 2015-08-28
• [学会発表] 自転／公転研磨ユニットによる砥石研磨の基礎検討 (2014)
  • 著者名/発表者名: 林 偉民
  • 学会等名: 2014年度日本機械学会第10回生産加工･工作機械部門講演会
  • 発表場所: 徳島大学工学部（徳島県徳島市）
  • 年月日: 2014-11-15 – 2014-11-16
• [学会発表] X線望遠鏡成形用Ni金型の超精密加工 (2014)
  • 著者名/発表者名: 鈴木浩文，岡田 睦，升田祐樹，山本琢也，森田晋也，郭 江，山形 豊，林 偉民
  • 学会等名: 2014年度日本機械学会第10回生産加工･工作機械部門講演会
  • 発表場所: 徳島大学工学部（徳島県徳島市）
  • 年月日: 2014-11-15 – 2014-11-16
• [学会発表] Niめっき金型の超精密切削―無電解Niめっきと電解Niめっき金型の切削特性の比較― (2014)
  • 著者名/発表者名: 升田祐樹，岡田睦，鈴木浩文，森田晋也，郭 江，山形 豊，林 偉民
  • 学会等名: 2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 鳥取大学（鳥取県鳥取市）
  • 年月日: 2014-09-16 – 2014-09-18
• [学会発表] 無電解NiPめっき基板の鏡面研磨の基礎研究 (2014)
  • 著者名/発表者名: 真下春子, 林 偉民
  • 学会等名: 2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 鳥取大学（鳥取県鳥取市）
  • 年月日: 2014-09-16 – 2014-09-18
• [学会発表] 低周波振動を援用した研磨法の研磨特性 (2014)
  • 著者名/発表者名: 林 偉民，徐 世傑，鈴木浩文，樋口俊郎
  • 学会等名: 2014年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2014)
  • 発表場所: 岩手大学（岩手県盛岡市）
  • 年月日: 2014-09-11 – 2014-09-13
• [学会発表] 無電解NiPめっき基板のポリシングの基礎研究 (2014)
  • 著者名/発表者名: 真下春子, 林 偉民
  • 学会等名: 2014年度日本機械学会関東支部第22回茨城講演会
  • 発表場所: 茨城大学工学部（茨城県日立市）
  • 年月日: 2014-09-05
• [学会発表] Study on the polishing characteristics of rotation & revolution type polishing method (2014)
  • 著者名/発表者名: W. LIN
  • 学会等名: The 4th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2014)
  • 発表場所: Swiss Hotel (Bremen, Germany)
  • 年月日: 2014-07-08 – 2014-07-10
• [学会発表] Polishing Characteristics of a Low Frequency Vibration Assisted Polishing Method (2013)
  • 著者名/発表者名: W. Lin, S. K. Chee, H. Suzuki and T. Higuchi
  • 学会等名: 16th International Symposium on Advances in Abeasive Technology (ISAAT2013)
  • 発表場所: 中国杭州市
• [学会発表] 小径回転工具による非球面金型研磨の基礎検討 (2013)
  • 著者名/発表者名: 林 偉民，鈴木浩文
  • 学会等名: 2013年度砥粒加工学会学術講演会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] 無電解NiPめっき基板の鏡面研磨の研究
  • 著者名/発表者名: 眞下春子，林 偉民，森田晋也, 山形 豊
  • 学会等名: 2013年度日本機械学会関東支部茨城講演会
  • 発表場所: 日立
• [学会発表] 自転／公転型研磨（RRP）法の研磨特性の確認
  • 著者名/発表者名: 林 偉民，鈴木浩文
  • 学会等名: 2013年度日本機械学会関東支部茨城講演会
  • 発表場所: 日立
• [学会発表] 低周波振動を援用した研磨法の基礎研究
  • 著者名/発表者名: 影山忠大, 眞下春子，林偉民
  • 学会等名: 2014年砥粒加工学会卒業研究発表会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] 小径回転工具による非球面レンズ金型の研磨法の研究
  • 著者名/発表者名: 長塩宏紀，林偉民，鈴木浩文
  • 学会等名: 2014年砥粒加工学会卒業研究発表会
  • 発表場所: 東京
• [図書] 群馬大学産学連携・共同研究イノベーションセンターCenter News (2013)
  • 著者名/発表者名: 林偉民
  • 総ページ数: 2
  • 出版者: 群馬大学産学連携・共同研究イノベーションセンターCenter News