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超精密部品の高速形状検査のための三次元光学顕微計測基盤技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 25420050
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関静岡大学

研究代表者

臼杵 深  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (60508191)

連携研究者 三浦 憲二郎  静岡大学, 工学部, 教授 (50254066)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2015年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2014年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2013年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
キーワード光学顕微鏡 / 画像処理 / 三次元計測 / ライトフィールド / 低コヒーレンス干渉 / OCT / Focus Variation / 形状モデリング / コンピューテーショナルイメージング / 超解像 / ライトフィールド顕微鏡 / 変調照明
研究成果の概要

ライトフィールド顕微鏡のリフォーカス機能により高速に得られたイメージスタックに対してFocus Variationを適用し,深度マップを得た.光学顕微鏡とShape from Silhouetteにより得た形状モデルに対して深度マップを適用し,試料表面情報を含む三次元形状モデルの再構築を行った.さらに,表面プロファイルの高精度測定や奥行きが深い構造の測定に対応するために試料走査型OCT顕微鏡を提案した.低コヒーレンス干渉信号を光学顕微鏡の被写界深度内に固定した上で,測定対象を走査することで三次元形状を得る方法である.実験による検証の結果,光学顕微鏡の被写界深度の数十倍の深さ測定範囲が得られた.

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2016 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (10件) (うち国際学会 1件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Digital Shape Reconstruction of a Micro-Sized Machining Tool Using Light-Field Microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      S. Usuki, M. Uno, and K. T. Miura
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 10 ページ: 172-178

    • NAID

      130007674024

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Optical Microscopy with Improved Resolution Using Two-beam Interference of Low-coherence Light2016

    • 著者名/発表者名
      S. Usuki, T. Takada and K. T. Miura
    • 雑誌名

      Measurement

      巻: 78 ページ: 373-380

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Velocity calculation of 2D geometric objects by use of surface interpolation in 3D2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Mandachi, S. Usuki and K. T. Miura
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 8 ページ: 1-8

    • NAID

      130004495247

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 顕微鏡動画像における合焦位置推定をもちいたマイクロ形状計測2013

    • 著者名/発表者名
      萬立洋次郎, 臼杵 深, 三浦憲二郎
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 57 ページ: 735-738

    • NAID

      130004494600

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Designing Log-aesthetic Splines with G2 Continuity2013

    • 著者名/発表者名
      K. T. Miura, D. Shibuya, R. U. Gobithaasan and S. Usuki
    • 雑誌名

      Computer-Aided Design and Applications

      巻: 10 ページ: 1021-1032

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 3D measurement using light field microscopy with improved resolution, Workshop on microscopy2015

    • 著者名/発表者名
      S.Usuki, Y. Ohashi, K. T. Miura
    • 学会等名
      biology, medicine, and advanced CMOS imagers, Information Sensing Technologies
    • 発表場所
      Shizuoka University(静岡県浜松市)
    • 年月日
      2015-11-20
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 位相フィードバック機能を有する低コヒーレンス干渉型変調照明顕微法2015

    • 著者名/発表者名
      寺尾健, 高田智裕, 臼杵深, 三浦憲二郎
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-09-04
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] ライトフィールド顕微鏡によるイメージング2015

    • 著者名/発表者名
      臼杵深
    • 学会等名
      光学系設計技術部会&デジタル・イメージング技術部会の合同講演会
    • 発表場所
      機械振興会館(東京都港区)
    • 年月日
      2015-06-07
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Resolution-improved Optical Imaging by Low-coherence Interference Illumination2014

    • 著者名/発表者名
      Shin Usuki, Tomohiro Takada and Kenjiro T. Miura
    • 学会等名
      The 16th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium
    • 発表場所
      Shizuoka University(Shizuoka)
    • 年月日
      2014-11-11 – 2014-11-12
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Optical Microscopy with Improved Resolution using Two-Beam Interference of Low-Coherence Light2014

    • 著者名/発表者名
      Tomohiro Takada, Shin Usuki and Kenjiro T. Miura
    • 学会等名
      11th IMEKO Symposium LMPMI2014
    • 発表場所
      Epocal Tsukuba, Tsukuba City(Ibaraki)
    • 年月日
      2014-09-02 – 2014-09-05
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 低コヒーレンス光の二光束干渉を利用した光学顕微鏡の高分解能化2014

    • 著者名/発表者名
      臼杵深, 高田智裕, 三浦憲二郎
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学(東京都)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Improvement in Standing Wave Contrast of Structured Illumination Microscopy2013

    • 著者名/発表者名
      Tomohiro Takada, Shin Usuki and Kenjiro Miura
    • 学会等名
      16th International Conference on Humans and Computers
    • 発表場所
      Shizuoka University(Shizuoka)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 3D measurement and reconstruction using microscopic depth images2013

    • 著者名/発表者名
      Masaru Uno, Shin Usuki, Kenjiro T. Miura
    • 学会等名
      The 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      Howard Civil International Centre(Taipei)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 光学顕微鏡を用いた高速三次元計測のためのロバストなデフォーカス量推定2013

    • 著者名/発表者名
      萬立洋次郎, 臼杵深, 三浦憲二郎
    • 学会等名
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      関西大学(大阪府)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 光学顕微鏡による高解像度距離画像の取得とマイクロ形状再構築への応用2013

    • 著者名/発表者名
      宇野大, 藤川正太郎, 臼杵深, 三浦憲二郎
    • 学会等名
      Visual Computing/グラフィックスとCAD合同シンポジウム2013
    • 発表場所
      リンクステーションホール青森(青森県)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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