| 研究課題/領域番号 |
25420057
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 九州工業大学 |
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研究代表者 |
清水 浩貴 九州工業大学, 大学院工学研究院, 准教授 (50323043)
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| 研究分担者 |
田丸 雄摩 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教 (30284590)
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| 連携研究者 |
坂本 憲児 九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 准教授 (10379290)
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| 研究協力者 |
竹内 修三 北九州学術推進機構(FAIS), 半導体技術センター, 主任研究員
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2013年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 形状測定 / 平面度 / 真直度 / MEMS / 多点法 / 走査形状測定 / 運動誤差計測 / 平面度測定 / 真直度測定 |
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| 研究成果の概要 |
機械加工平面の高精度オンマシン形状計測を目的とした3点ないし5点の変位を同時計測可能なマルチセンサデバイスを設計した． このデバイスを実現にするために必要となる大型MEMSデバイスの製作プロセスを開発し，目的の機能を達成するデバイスを試作した．多数の真直形状測定データを繋ぎ合わせて平面形状を再現する方法を提案し，デバイスのセンサ配置にあわせたデータ処理プログラムを作成した．さらにこの平面形状測定法の誤差特性をモンテカルロシミュレーションにより明らかにした．
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